substrate holder
- 基础释义 纠错
基片座
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1、
用带特殊热（冷）阱的可控制基片温度的电阻加热式真空蒸镀薄膜装置，把吸收透明导电薄膜Au和In2O3分别通过热蒸镀和活化反应淀积在玻璃基片上。
来源：互联网摘选
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